기기예약

전계방사형 주사전자현미경-3

서울
기기명 (영문) FE-SEM-3
기기명 (한글) 전계방사형 주사전자현미경-3
모델명 SIGMA 360
제조회사 Carl Zeiss
도입시기 2024년
담당 장미지 / 02-820-6353
장비위치 수림과학관 207호
EDS 사용가능
예약취소 D-2 까지 취소 가능
사용대상 분석의뢰(교내, 교외), 교육신청, 야간자율 사용자
예약가능여부
  • 예약가능
기기 예약하기
※ 분석 진행 중일 경우 유선연락이 어렵습니다. jangmj123@cau.ac.kr로 문의 바랍니다.



[C-PASS TIME] (4월 30일부터 시행)

1. 기업체 이용자에 한해, 예약화면에서 원하시는 시간(C-Pass Time zone)을 확인하신 후 메일(jangmj123@cau.ac.kr)로 회신주세요. 담당자 확인 후 예약이 확정됩니다.

2. 교외 기업체 예약이 없을 경우, 분석일 2일 전 9시경에 오픈됩니다.



[분석의뢰, 사용자교육, 직접사용(야간자율사용자만 가능)] 

1. 분석의뢰 : 장비 예약 →  
담당자에게 이메일(jangmj123@cau.ac.kr) → 예약 확정 여부 메일 회신 (Request for analysis : Reservation → Email(jangmj123@cau.ac.kr) → Reply to confirm the reservation)

2. 사용자교육: 장비 예약 →  
담당자에게 이메일(화학신소재공학부: 고아라 선생님(arago1127@cau.ac.kr), 그외 학과: 장미지 선생님(jangmj123@cau.ac.kr)) → 예약 확정 여부 메일 회신

3. 직접사용 : 야간직접사용자만 가능 (ONLY AVAILABLE to those who are eligible for night use)



※※※ 처음 분석 의뢰 공지사항 ※※※

1. 샘플은 30분에 1~2개 측정 가능합니다. (샘플 자체의 특성과 원하는 배율/위치에 따라 소요되는 시간은 상이할 수 있습니다)

2. 완전히 건조되지 않거나 자성이 있는 샘플은 분석이 불가능합니다.



※※※ 야간직접사용 공지사항 ※※※

이용자격 : 교육 이수 후 6개월 이내 본인 직접 사용 30회 이상 사용자

신청방법 : '공동기기센터 주야간 사용신청서 및 동의서(Application for equipment self use)' 작성하여 기기 담당자에게 제출 (등급 주야간( V ) 체크, 본인 사진 반드시 포함)  신청서 click



※※※ 장비교육 공지사항 ※※※ (정독하신 후 교육 신청 부탁드립니다🙏🙏🙏) ☞ 공지사항 click

[신청방법]

1. A/B그룹* 연구실 : 장비 예약 (FE-SEM 1.5h , FE-SEM&EDS 2h) → 담당자에게 예약시간 이메일(화학신소재공학부: 고아라 선생님(arago1127@cau.ac.kr), 그외 학과: 장미지 선생님(jangmj123@cau.ac.kr)) → 일정 확인 후 예약 확정 메일 회신

2. 이외 연구실 : 3번 분석의뢰 후 교육 신청 가능 



[준비사항]

1. 장비 교육 시 공지사항 첨부파일에 있는 사용신청서 및 동의서 작성(반드시 사진 부착), 앞으로 분석할 샘플 1~2개 가지고 104관 205호로 방문해주세요.

2. FE-SEM 교육 전 웨비나 시청 필수 ☞ FE-SEM 웨비나 Click

3. EDS 교육 신청 시 교육 전 웨비나 시청 필수 ☞ EDS 웨비나 Click



[교육과정]

1. 1회차 교육 : FE-SEM (1시간30분), FE-SEM&EDS (2시간), EDS (1시간) - 직접사용 체크 X

2. 2회차 교육 : 교육내용 확인 (30분 이상) : 장비담당자와 함께 장비 직접 사용 - 직접사용 체크 O

3. 3회차 : 직접사용 자격 부여 (30분 이상) : 장비담당자의 도움 없이도 직접 장비를 사용할 수 있는지 확인 후 직접 사용 자격 부여 - 직접사용 체크 O



(A그룹: 기계공학부-이성혁, 융합공학부-김수길,백태종,하돈형, 화학과-윤상운, 주재범, 화학신소재공학부-김주헌, 안상현, 이종휘교수님)

(B그룹: 융합공학부-김태형, 화학신소재공학부-이평수, 박주현, 남인호, 우상혁교수님)
 용도 및 원리

전계방사형 주사전자현미경은 일반 주사전자현미경과 달리 전자총이 열전자총이 아닌 Field Emission Gun을 사용함으로 해서 해상력이 뛰어나기 때문에 깨끗한 영상을 얻을 수 있다. 따라서 일반전자현미경에서 구현하기 힘든 저가속전압에서 고배율 관찰이 가능하고, 저전압으로 관찰이 가능하기 때문에 시료의 radiation damage가 적은 것이 장점이다.



 규격 및 사양

   1) 해상도

      a. 15kV: 0.9nm 이하

      b. 1kV: 1.3nm 이하.

    2) 가속 전압

      a. 범위: 0.02kV ~ 30kV를 포함하면서 더 넓은 범위

      b. 조정: 10 Volt 단계로 연속적으로 조정 가능

    3) Probe Current

      a. 범위: 3pA ~ 20nA를 포함하면서 더 넓은 범위

      b. 안정성: 시간 당 0.2% 안정성

     4) 배율

      a. 범위: 10 ~ 1,000,000배를 포함하면서 더 넓은 범위

      b. 조정: 연속적으로 조정 가능

      c. 작동 범위 또는 가속 전압의 변화에 맞춰 자동 보정(Auto-Compensation)



 EDS 규격 및 사양

1) Silocon Drift Detector : LN2 free type with motorized slide

2) Sensor Size : 40mm2

3) Detector Window : Ultra thin polymer window

4) Detection range : Be(4) up to Cf(98) or wider

5) Resolution : 127 eV or less at Mn Ka@130,000cps
  예약자와 실제 사용자가 다를경우 장비 사용을 제한합니다.

  야간사용 자격획득 후 6개월간 이용실적이 없으면 야간사용 자격을 제한됩니다.

  백금막코팅기, EDS 사용 시 반드시 옵션 추가 후 예약 바랍니다. (옵션 추가 없이 사용할 경우 2배로 과금할 수 있습니다)
[이용요금]

교내대학 60,000 원/시간 (직접사용시 50% 할인)

교외대학 80,000 원/시간

교외기업 120,000 원/시간



[옵션]

백금막코팅 10,000원/회

EDS 20,000원/시간



* 10% 부가가치제 별도

* Data 처리 시간은 분석 시간에 포함 (분석시간 1시간은 50분 기준)