FE-SEM 분석 의뢰/교육/직접 사용 방법 변경 

관련 공지 사항 클릭 ☞ 중앙대학교 공동기기센터 (cau.ac.kr)

  ** FE-SEM-2 분석의뢰 오전/오후 모두 가능(2024.07~)





※ 분석 중에는 전화연락이 어렵습니다. 문의사항은 이메일(arago1127@cau.ac.kr)로 연락주세요. If you have any questions, please send me an email(arago1127@cau.ac.kr)

※ 미리 연락을 주지 않은 분석의뢰 또는 교육은 당일 취소될 수 있습니다. Analysis requests or training that have not been contacted in advance may be canceled on the same day.







※ 이용방법 ※

- 직접사용(Use by yourself) : 교내 이용자에 한해, 직접 사용 교육 이수 후 이용 가능 (Only school users can use it after completing user training)

- 분석의뢰(Analysis request) : 예약 후 일정 협의 (Contact me via email after booking)

-  야간사용(Night use) : 교육 이수 후, 6개월 이내 주간 30회 또는 30시간 이상 장비를 직접 사용한 교내 이용자에 한해, 장비사용능력 심사 후 이용 자격 부여 (Only school users who have used the equipment more than 30 times or 30 hours within 6 months are eligible for night use after evaluating their ability to use the equipment)





※ 공지사항 ※

1. 백금막코팅기, EDS 사용 시 반드시 옵션 추가 후 예약 바랍니다. 옵션 추가 없이 사용할 경우 2배로 과금합니다. (PT coating and EDS should be used after option reservation. If you use it without adding options, you will be charged twice.)

2. 반드시 본인 아이디로 예약하고 사용해야 합니다. 예약자와 실제 사용자가 다를 경우 장비 사용을 제한할 수 있습니다. (Make sure to book and use your ID. If the reservation person and the actual user are different, you can restrict the use of the equipment.)

3. 예약 취소 정책

장비이용 D-2(23:59:59)까지 무과금 취소 가능 (월 2회까지는 D-1 무과금 취소 가능, 월 3회부터 D-1 취소 시 사용건과 동일하게 과금), 당일 취소는 불가능합니다. (There is no charge for cancellation up to D-2, Up to two times a month, we don't charge you even if you cancel the day before. From the third time a month, if you cancel the previous day, you will be charged as if you used it. Cancellation is not possible on the same day.)



**고장 및 부주의 사용으로 인해 장비사용이 중단되면 예약이 취소될 수 있으며 메일로 안내해드립니다.

If equipment use is suspended due to malfunction or careless use, your reservation may be canceled and you will be notified by email.

                    





 

 용도 및 원리

전계방사형 주사전자현미경은 일반 주사전자현미경과 달리 전자총이 열전자총이 아닌 Field Emission Gun을 사용함으로 해서 해상력이 뛰어나기 때문에 깨끗한 영상을 얻을 수 있다. 따라서 일반전자현미경에서 구현하기 힘든 저가속전압에서 고배율 관찰이 가능하고, 저전압으로 관찰이 가능하기 때문에 시료의 radiation damage가 적은 것이 장점이다.



 규격 및 사양

   1) 해상도

      a. 15kV: 1.0nm 이하

      b. 1kV: 1.6nm 이하.

    2) 가속 전압

      a. 범위: 0.02kV ~ 30kV를 포함하면서 더 넓은 범위

      b. 조정: 10 Volt 단계로 연속적으로 조정 가능

    3) Probe Current

      a. 범위: 3pA ~ 20nA를 포함하면서 더 넓은 범위

      b. 안정성: 시간 당 0.2% 안정성

     4) 배율

      a. 범위: 10 ~ 1,000,000배를 포함하면서 더 넓은 범위

      b. 조정: 연속적으로 조정 가능

      c. 작동 범위 또는 가속 전압의 변화에 맞춰 자동 보정(Auto-Compensation)



 EDS 규격 및 사양

1) Silocon Drift Detector : LN2 free type with motorized slide

2) Sensor Size : 40mm2

3) Detector Window : Ultra thin polymer window

4) Detection range : Be(4) up to Cf(98) or wider

5) Resolution : 127 eV or less at Mn Ka@130,000cps

 예약자와 실제 사용자가 다를경우 장비 사용을 제한합니다.(야간 직접 사용시 예약자 1인만 출입 가능)

 관리자에게 기기 사용 교육을 이수한 이용자만 직접 사용 가능합니다.

 야간사용 자격획득 후 6개월간 이용실적이 없으면 야간사용 자격을 제한합니다.

 

EDS 추가설치(2023.02.08), EDS 사용 요금 20,000원/1시간



* Data 처리 시간은 분석 시간에 포함 (분석시간 1시간은 50분 기준)