공지사항 (시료 및 예약 관련 문의 : ckee22@cau.ac.kr)
- 9월 25일까지 예약마감되었습니다.
-이미 예약하신 분들 중에 미리 시료가 준비되신 경우, 예약일보다 먼저 시료를 가져오시면 자리가 나는대로 먼저 찍어드리겠습니다.
- 중간에 예약취소 및 일정 변경 등으로 예약마감일이 다시 열릴 수도 있습니다.
- 예약일 기준 2주 전 자정에 새로운 예약이 열립니다.
- 교내 대학원생 중 논문 리비전 등의 이유로 급한 시료가 있는 경우(증빙필요) 따로 연락주시기 바랍니다.
- 방학기간동안 오후 예약시 당일에 측정이 불가할 수 있으니 되도록 오전시간에 예약 후 오전에 시료를 가져와 주세요.
- 세미나 중 통신상의 문제로 보여드리지 못했던 XPS DATA FITTING하는 영상이 공지사항에 업로드 되었습니다.참고하시기 바랍니다.
- 기기실 소음으로 인해 연구실 안전관리차원에서 노이즈캔슬링을 착용하고 분석하고 있습니다. 양해 부탁드립니다.
- 하루에 찍을 수 있는 시료의 수가 한정적이라 예약일에 맞춰 순차적으로 측정되며 최대한 데이터를 빨리 보내드리기 위해 노력하고 있습니다. 장비 고장 등의 이유로 데이터 전송이 늦어질 경우에는 먼저 연락드리며, 본인 예약일로부터 3일(표면분석 기준, 맡기신날, 주말, 공휴일 제외)이 지나도 데이터를 못 받으실 경우에만 데이터 문의 해주시기 바랍니다.
-시료 회수는 데이터 받으신 이후 방문해주시면 됩니다. 데이터 받으시고 일주일 내로 방문해주시기 바랍니다. 교외 택배 시료의 경우 착불 택배로 반환가능합니다. 이 경우 받으시는 분 성함, 연락처, 주소를 적어서 메일로 보내주시기 바랍니다.
1. XPS 예약방법 및 일정
- XPS는 의뢰 분석만 가능합니다. 시료를 센터로 가져오실 시간에 예약 후 시간맞춰 가져오시면 됩니다.
시료를 맡기고 가시면 2-3일내로(주말, 공휴일 제외) 데이터를 받아보실 수 있습니다.
택배로 샘플을 보내시는 경우, 보내신날 +2일로 예약해주세요.
(예시) 월요일 택배 발송 -> 수요일 오전시간으로 예약
- 예약 시간이 측정시간이 아니기 때문에 시간 중복 예약가능합니다. 보통 3시 이후 예약건은 당일 측정이 불가하오니 참고하시기 바랍니다.
2. 예약시 주의사항
- 홈페이지 예약시 기타입력란에 보고자하는 원소의 종류를 반드시 써주세요.
그 외의 주의사항, 시료의 특성, 데이터 받으실 이메일주소 등 자세하게 써주시기 바랍니다.
- 시료 내에 Zn 성분이 포함된 시료는 분석 불가합니다.
(단, 박막 시료에 한하여 상담 후 의뢰가능, powder, depth 분석은 불가하며 당일에 취소될 수 있습니다.)
- 시료 내에 Sn, I 성분이 포함된 시료의 경우 다른 시료를 오염시킬 수 있기때문에 단독으로 측정해야합니다. 스케줄상 분석이 연기될 수 있으므로 여유를 갖고 의뢰해주시기 바랍니다.
3. 시료준비
- 초고진공에 적합하게 완전히 건조된 상태여야 합니다. 가루가 날리거나 진공이 잡히지 않는 시료는 측정 불가합니다. 진공이 잡히지 않아서 다른 시료 측정 일정에 피해를 주는 경우 패널티 요금 50%부과됨.
1) 파우더 시료 : 작은 바이알 또는 ep tube에 50mg정도 완전히 드라이된 상태로 바이알에 담아서 준비
2) 박막 시료 : 5 mm X 5 mm ~ 10 mm X 10 mm, height < 15 mm 사이즈로 준비.
사이즈가 큰 시료의 경우 임의로 자르거나 측정이 거부될 수 있습니다.
앞뒷면이 다른 경우 시료를 부착해서 고정시켜서 보내주셔야 합니다.
3) 시료를 반드시 1,2,3,4 순서대로 넘버링해서 보내주시기 바랍니다. 실험자만 알 수 있는 시료명이나 임의의 숫자로 보내지 마시고 넘버링 꼭 다시 해주시기 바랍니다.
4) 시료를 카본테이프에 부착하여 측정하기 때문에 온전하게 시료가 회수 안될수도 있습니다.
4. 분석 절차
1) 처음 의뢰하시는 경우 : 담당자와 통화 후 시료 측정 가능 여부 및 일정 확인 → 홈페이지 예약하기 → 시료 도착 → 예약 승인 → 시료 도착 순서대로 실험 진행 → 데이터 발송 → 실험완료 → 결제
2) 재의뢰의 경우 : 예약이 열려있는 날짜에 홈페이지 예약 -> 시료 도착 → 예약 승인 → 시료 도착 순서대로 실험 진행 → 데이터 발송 → 실험완료 → 결제
5. 담당자 이메일 : ckee22@cau.ac.kr(교육 및 기타 문의)
6. 시료 보내실 주소 : 서울시 흑석로 84 중앙대학교 수림과학관(104관) 205호 공동기기센터, 한철경(02-820-6173)
7. XPS 분석프로그램인 AVANTAGE
- 연구실에 Fitting 프로그램이 없는 경우, 간단한 프로그램 사용법을 교육받은 후 학생들이 직접 사용하실 수 있도록 XPS에 설치되어 있습니다. 사용시간 : 오전 9시 - 오후 6시 (점심시간 제외, 방학 10-4시)
8. 처음찍으시는 분들을 위한 XPS 참고 동영상
1) XPS란 : https://youtu.be/Pd4ZmnTrj_I
2) XPS 데이터 그래프 해석방법 : https://youtu.be/R5uXCy2Gw1A
https://youtu.be/ij6bVhQiN9g
X-선 광전자 분광법은 광원으로 X-선을 사용하여 내부 전자로부터 광전자(Photoelecton)를 방출시켜 광전자의 운동에너지를 측정함으로써 원소의 화학적 이동(chemical shift)의 차이를 이용하여 표면의 구성 원소의 화학 결합 상태를 알아낼 수 있는 분석 장비임
1. 응용분야
- 시료 표면의 정성, 정량 분석
- 반도체 표상 및 성분 분석
- 금속재료 표면 산화상태, 부식 상태 등 구조 해석
- 고분자 복합 재료 연구 등
2. 분석 내용
1) Surface : 시료 표면으로부터 10 nm 이내의 정성, 정량 분석하는 실험
2) Depth Profile : 시료 표면 측정과 Ar sputtering을 반복하여 시료 표면부터 깊이, 분포를 분석하는 실험(고분자 시료 Depth profile 불가, 표면분석만 가능)
3) AR-XPS : 각도를 바꿔가며 일반적으로 5 nm 이하의 초박막 시료의 상대적인 조성 및 분포를 얻을 수 있는 실험(비파괴 두께측정)
3. 시료 준비
- 파우더, 박막, 필름 등 시료는 반드시 초고진공에 적합하게 완전히 건조된 상태여야 함.
- 가루가 날리거나 진공이 잡히지 않는 시료, Gel 형태는 측정 불가
- 용매에 있던 시료는 반드시 진공오븐에서 건조 후 측정 의뢰
- 시료사이즈 : 5 mm X 5 mm ~ 10 mm X 10 mm, height < 15 mm
4. 규격 및 사양
1) Analyzer type : 180° double-focusing hemispherical analyzer, 128-channel detector
2) X-ray source type : Al Kα micro-focused monochromator
3) X-ray spot size : 50–400 µm (adjustable in 5 µm steps)
4) Depth profiling : EX06 ion source(Energy range 200eV to 4 keV)
5) Maximum sample area : 60x60 mm
6) Maximum sample thickness : 20 mm
7) Vacuum system : Two turbo molecular pumps, with automated titanium sublimation pump and backing pump
8)Software : Avantage software including offline data processing
※ 10% 부가가치세 별도
※ Depth 분석시 유의사항
- 위 표의 금액은 Snap mode 분석을 기준으로 함. Scan mode 분석을 원하시는 경우 5 Level 당 시료 1개로 카운트함
ex) 교내회원, 시료 2개 Depth 분석, 20 level etching 분석할 경우
- Snap mode : 150,000 * 2개 = 300,000원
- Scan mode : 150,000 * 4 * 2개 = 1,200,000원
※ 진공이 잡히지 않아서 다른 시료 측정의 피해를 주는 경우 패널티로 요금 50% 부과
시료를 측정했으나 시료 문제로 데이터가 나오지 않는 경우 측정을 했으므로 요금의 50%를 과금합니다.
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