※ 펌프고장으로 운영중단 상태입니다. 2007년 도입된 노후 장비로 부품 생산 중단에 따라

고장 수리가 쉽지 않아  제조업체와 협의 중인 상황입니다. 운영 재개 여부가 불투명한 상태로 추후 확정되면 재공지 하겠습니다..

FE-SEM-3 도입에 따라 FE-SEM-1, FE-SEM-2, FE-SEM-3 모두 예약이 수월한 상황으로 FE-SEM 예약 후 

사용하시기 바랍니다.(2024.05.07.)

(Suspended operation due to pump failure, to be re-notified later.)



FE-SEM 사용관련 공지사항 click



※ 분석 의뢰는 오전 9시부터 12시까지만 예약이 가능합니다.(2024.04.01~)



※  현재(2022.11.11) 예약이 많지 않은 상황이라 야간 이용을 중단 합니다.(단 여름, 겨울방학중 16시 -18시는 야간 이용자 자격 있는 이용자는 사용가능합니다.)

 담당자 e-mail : arago1127@cau.ac.kr



※ sampling은 지원하지 않습니다. sampling을 해오거나 오셔서 직접 sampling 하셔야합니다.



1. 직접사용이 불가능해서 분석의뢰를 하실분은 반드시 담당자와 일정 협의 후 예약하시기 바랍니다.

  (사전에 협의 없이 예약하신 경우 분석의뢰가 불가능 할 수 있습니다)

  If you want to request an analysis, please make sure a reservation after discussing the schedule with  person in charge.

  (If you make a reservation without prior consultation, you may not be able to request an analysis)



2. EDS 고장으로 사용이 불가합니다. EDS 이용자는 FE-SEM-2의 EDS를 사용 바랍니다.

EDS is broken and can not be used. EDS users should use FE-SEM EDS.



3. 백금막코팅이 필요한 sample의 경우 반드시 백금막코팅 사용 여부를 체크해주시기 바랍니다. 

(In the case of samples that require pt coating, please check the pt coating for using it.)



4. 직접사용은 사용자교육을 받은 교내 이용자만 가능합니다. 교내 이용자의 요청 시 연구실별 사용자교육을 상시 진행하고 있으며, 공동기기센터의 교육을 이수하지 않을 경우 직접사용을 제한합니다. (학부생은 직접 사용 불가함)



5. 최근 예약신청후 예약시간 직전에 취소요청이 빈번하게 발생하고 있습니다.

   예약취소는 예약일자의 하루 전 오후12시까지 로그인-MYPAGE-이용신청현황 페이지에서 예약자 본인이 직접 취소하시면 됩니다. 예약 당일 취소는 불가합니다.



6. Data 보관기간은 1년입니다. 측정 후 1년이 지난 image의 경우 용량 초과로 인해 삭제될 수 있습니다.



7. 백금막코팅이 필요한 sample의 경우 반드시 백금막코팅 사용 여부를 체크해주시기 바랍니다. 



8. 기타 문의사항은 arago1127@cau.ac.kr로 문의 바랍니다.



 

[용도 및 원리]

광학현미경은 빛의 파장 때문에 그 확대 능력에 한계(약 0.2㎛)가 나타난다. 이러한 한계를 극복하기 위해 전자를 이용 시료의 표면 조직을 고배율까지 입체적으로 관찰할 수 있는 장비가 전자현미경이다. 고압(10,000 volt 이상)으로 가속된 전자총(electron gun)에서 방출된 전자빔을 ion 증착된 시료 표면 위에 주사하여 시료에서 반사된 2차 전자(secondary electron)를 검출기로 모아 영상화 시키는 장비임.

  [규격 및 사양]

* 3.0nm @ 30kV(High Vacuum Mode)

* 10nm @ 3kV(High Vacuum Mode)

* 4.0nm @30kV BSE(6Pa in Low Vacuum Mode)

* Mag. Range x5 - x300,000(153 Steps)

* Accelerating Voltage Range 0.3kV - 30kV(1,171 Steps)

* Analytical WD 10nm, TOA=35 deg.

* Vacuum Syatem TMP(210L/sec)x1, RP(162L/min)x1

* Max. Image Res. 5210x3840 Pixels(BMP, TIFF, JPEG)

* VP Range 6-270 Pa * +/- 50 Micron Image Shift at 10mm WD

* EDS : Horiba Energy EX-250 - Super UTW Si(Li)10mm2, 137eV at Mn Ka - Detectable element : B(5) to U(92)

- 예약신청 후 사전 연락없이 3회 이상 장비를 사용하지 않을 경우 3개월간 사용을 제한합니다.

- 야간사용 자격획득 후 6개월간 이용실적이 없으면 야간사용 자격을 제한합니다.

- 야간사용 시 이용신청자와 사용자가 다를 경우 야간사용 자격을 제한합니다.

[이용요금]

* 15,000원/30분, 직접이용시 50%할인

* 전처리 : 10,000 원/회 (백금막코팅)

* 교외 기업체,연구소소속 이용자는 교내이용자 요금의 200%입니다.

* 단 교외 교육기관(대학원학위과정) 소속 이용자는 교내이용자와 동일한 요금이 적용 됩니다.

※10% 부가가치세 별도